فناوری خلأ بالا - طراحی وساخت تجهیزات وقطعات

فناوری خلأ بالا - طراحی وساخت تجهیزات وقطعات

- لایه نشانی لایه‌های نازک فلز ودی‌الکتریک در خلاء بالا  (با دقت دهم نانومتر)
- سیستم مگنترون اسپاترینگ 
- سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترون  خلأ بالا
- ادوات لایه نازک

سیستم لایه‌نشانی تبخیر با پرتو الکترون  خلأ بالا

تجهیزات جانبی نصب شده روی دستگاه:
- منبع پرتو الکترونی مغناطیسی3 kw ، گردش 270 درجه پرتو
- منبع تغذیه kw 3 ، kV 6 برای منبع پرتو الکترونی
- کاتد مگنترون اسپاترینگ، 3 اینچ، 1 kw ، RF و DC با منبع تغذیه DC 1kw
- منبع تغذیه RF : 13.56 مگاهرتز،  600 وات
- منبع تبخیر مقاومتی :   A250 با منبع تغذیه AC
- تله ازت مایع
- ضخامت‌سنج کریستالی کامپیوتری
- نمونه‌گردان برقی با امکان کنترل دور
- گرم‌کن نمونه( از نوع تابشی) با کنترلر دمای PID

کاربردها:
- فناوری نانو
- اپتیک 
- میکروالکترونیک
- ابررسانایی
- فیلترهای نوری
- اپتوالکترونیک
- آینه های لیزر
- لایه های دی الکتریک
- پوشش های سخت
- پوشش های تزئینی